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国家工程实验室

实验室设备介绍

三维形貌测量激光显微镜

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型号：VK-X200

公司：基恩士Keyence

国别：日本

主要用途：三维显微形貌测量（如测量距离、面积、轮廓、粗糙度、平面度等）

技术参数：

408nm半导体激光

测量精度0.001um

放大倍数200~24000（3000倍SEM）

仿彩色SEM，16 bit 激光彩色观察

非接触式扫描，可用于测量软质表面

最大样品高度28mm（使用隔片和机架可达到128mm）

载物台最大负荷：5Kg

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